[发明专利]一种可延展的屈曲结构有机薄膜功能器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810166241.1 申请日: 2018-02-28
公开(公告)号: CN108493338B 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 郑跃;熊力群;张潇悦;陈云;熊伟明;余静 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L51/10 分类号: H01L51/10;H01L51/44;H01L51/52;H01L51/40;H01L51/48;H01L51/56
代理公司: 广州市深研专利事务所 44229 代理人: 姜若天
地址: 510275 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种可延展的屈曲结构有机薄膜功能器件及其制备方法,为三层结构,顶层为Au电极,中间层为有机功能层,底层为Au电极。制备方法包括如下步骤:(1)配制PVA和有机功能层溶液;(2)牺牲层制备;(3)底层电极制备;(4)有机功能层制备;(5)顶层电极制备;(6)器件微加工;(7)器件剥离;(8)转印,卸载即得。本发明以PVA作为牺牲层,通过控制转印过程中柔性衬底的预拉伸可调控薄膜的屈曲程度(周期和振幅),从而使器件实现有机薄膜的功能性并兼具可延展性。PVA作为牺牲层用水即可溶解以实现器件的转印,无毒无害无损,操作简单,无需使用昂贵的专用设备,成本大大降低且对环境友好。
搜索关键词: 一种 延展 屈曲 结构 有机 薄膜 功能 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种可延展的屈曲结构有机薄膜功能器件,其特征在于为三层结构,顶层为Au电极,中间层为有机功能层,底层为Au电极。
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