[发明专利]供液装置

摘要

本发明提供一种供液装置，通过在容器内设置第一隔板，形成第一容腔和第二容腔，厂务进液管道向第二容腔内供应清洗液，第二容腔内的清洗液在第二容腔内逐渐充满直至达到与第一隔板的第一开口在竖直方向上的高度而溢流至第一容腔，使得第一容腔内也储存有清洗液，第一容腔内的清洗液经第一进液管道输送至置换腔室，第二容腔内的清洗液经第二进液管道输送至清洗腔室，由于玻璃基板附着的光阻等杂物先在置换腔室内被洗净，玻璃基板再被送进清洗腔室，因此，第一容腔内的清洗液的纯净度要求会低于第二容腔内的清洗液，使得清洗腔室内的清洗液可以经第二排液管道回收到容器内继续利用，相对于现有的清洗液仅使用一次的方案，节约了清洗液的使用量。

主权项

1.一种供液装置，用于向置换腔室和清洗腔室供应清洗液，其特征在于，包括容器和第一隔板，所述容器的内壁包括底壁和侧壁，所述第一隔板与所述容器的底壁和侧壁连接，所述第一隔板的上部设有第一开口，且在竖直方向上所述第一隔板的第一开口的高度低于所述容器的侧壁的高度，以使所述容器被所述第一隔板分隔为通过所述第一隔板的第一开口联通的第一容腔和第二容腔，所述供液装置还包括厂务进液管道，所述厂务进液管道连接至所述第二容腔，所述第一容腔与所述置换腔室之间连接有第一进液管道，所述第二容腔与所述清洗腔室之间连接有第二进液管道，所述容器与所述清洗腔室之间连接有第二排液管道，所述厂务进液管道向所述第二容腔输入清洗液，所述第二容腔内的清洗液经所述第一隔板的第一开口处溢流至所述第一容腔，所述第一容腔内的清洗液经所述第一进液管道输入所述置换腔室，所述第二容腔内的清洗液经所述第二进液管道输入所述清洗腔室，所述清洗腔室的清洗液经所述第二排液管道回流至所述容器继续利用。