[发明专利]一种铌酸锂基片的黑化方法

摘要

本发明公开了一种铌酸锂基片的黑化方法。本方法采用的还原试剂由铁粉和碳酸锂粉末混合而成，铌酸锂基片的黑化步骤为：1、在方形刚玉坩埚中放入铁粉和碳酸锂混合物；2、将铌酸锂基片平放埋入混合物中；3、将方形刚玉坩埚放入热处理炉中，在氩气氛围中处理；4、待温度降低到接近室温后放入稀盐酸溶液浸泡，之后冲洗、甩干。本方法反应时间短，铌酸锂基片的黑化过程耗时少，适合于大规模生产；采用方形刚玉坩埚耐高温，耐酸碱，可以长时间使用，且方形坩埚取放晶片较为容易，方形坩埚放置在热处理炉炉管中较为平稳，不易歪斜；本方法操作简便易行，安全可靠。通过调整混合物比例、反应时间和反应温度等条件可得到不同黑化程度的铌酸锂基片。

主权项

1.一种铌酸锂基片的黑化方法，其特征在于，使用方形刚玉坩埚作为反应容器，使用氩气作为气体氛围，通过调整反应条件控制铌酸锂基片的黑化过程，最后将黑化后的铌酸锂基片进行稀盐酸溶液浸泡处理，具体步骤如下：（一）、配制还原试剂：还原试剂由铁粉、碳酸锂粉末两种成分混合而成，铁粉与碳酸锂粉末的质量比为1:（1‑10）；（二）、铌酸锂基片的黑化过程：①、将铁粉和碳酸锂粉末的混合物放入方形刚玉坩埚中；②、将铌酸锂基片平放埋入混合物中，然后将方形刚玉坩埚装入热处理炉；③、通氩气，流量为（0.5‑1）L/min；④、设定热处理温度为（500‑700）oC，升温速率控制在（1‑5）oC/min；⑤、温度达到设定值后，保持恒温（1‑24）h；⑥、恒温时间结束后，降温速率为（1‑3）oC/min；⑦、温度降到接近室温时，取出方形刚玉坩埚；（三）、铌酸锂基片浸泡清洗过程：待坩埚冷却至室温后将整个方形刚玉坩埚放入稀盐酸溶液中浸泡（1~5）h，稀盐酸溶液的配比为：浓度为63%的浓盐酸：水=1：（10~20），浸泡之后用纯水冲洗铌酸锂基片，再放入甩干机甩干。