[发明专利]MEMS设备、声换能器、形成MEMS设备的方法以及操作MEMS设备的方法有效
| 申请号： | 201810171550.8 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108540911B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | A·德厄 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了电容式MEMS设备、电容式MEMS声换能器、用于形成电容式MEMS设备的方法以及操作电容式MEMS设备的方法。在实施例中，电容式MEMS设备包括：第一电极结构，包括第一导电层；以及第二电极结构，包括第二导电层，其中所述第二导电层至少部分地与第一导电层相对，并且其中第一导电层包括在第二导电层的至少三个部分之间提供电隔离的多分段。 | ||
| 搜索关键词： | mems 设备 声换能器 形成 方法 以及 操作 | ||
【主权项】：
1.一种电容式MEMS设备，包括：第一电极结构，包括第一导电层；以及第二电极结构，包括第二导电层，其中所述第二导电层至少部分地与所述第一导电层相对，以及其中所述第二导电层包括在所述第二导电层的至少三个部分之间提供电隔离的多分段。
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