[发明专利]加工装置有效
申请号: | 201810173699.X | 申请日: | 2018-03-02 |
公开(公告)号: | CN108527499B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 加藤圭;佐胁悟志;佐藤雅史 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B26D7/20 | 分类号: | B26D7/20;B26D5/00;B26D7/01;B26D7/06;B26D7/32;H01L21/67 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供加工装置,能够防止卡盘工作台的破损。该加工装置具有:利用保持面对被加工物进行保持的卡盘工作台;对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的加工单元;以及对各结构要素进行控制的控制单元,控制单元具有:判定部,其判定在按照被加工物的长边侧分割预定线与卡盘工作台的长边侧刀具退刀槽重叠的方式使卡盘工作台与被加工物相对地移动而对卡盘工作台相对于被加工物的角度、位置进行调整的情况下短边侧分割预定线与短边侧刀具退刀槽是否重叠;以及报知部,其在判定部判定为短边侧分割预定线与短边侧刀具退刀槽不重叠的情况下,将该情况报知给操作者。 | ||
搜索关键词: | 加工 装置 | ||
【主权项】:
1.一种加工装置,其具有:卡盘工作台,其在保持面上具有长边侧刀具退刀槽和短边侧刀具退刀槽,该长边侧刀具退刀槽和短边侧刀具退刀槽分别对应于在正面上具有沿长边方向延伸的多条长边侧分割预定线和沿与该长边方向交叉的方向延伸的多条短边侧分割预定线的被加工物的该长边侧分割预定线和该短边侧分割预定线,该卡盘工作台利用该保持面对该被加工物进行保持;加工单元,其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工;移动单元,其使该卡盘工作台沿与该保持面平行的方向移动;旋转单元,其使该卡盘工作台绕与该保持面垂直的旋转轴旋转;拍摄单元,其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄;搬送单元,其将该被加工物搬入至该卡盘工作台或将该被加工物从该卡盘工作台搬出;以及控制单元,其对各结构要素进行控制,该加工装置的特征在于,该控制单元具有:退刀槽信息存储部,其存储根据对与作为基准的角度和位置一致的该卡盘工作台的该保持面进行拍摄而得到的拍摄图像所求出的与该长边侧刀具退刀槽的角度、位置以及宽度相关的信息和与该短边侧刀具退刀槽的角度、位置以及宽度相关的信息;分割预定线信息存储部,其存储根据对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄而得到的拍摄图像所求出的与该长边侧分割预定线的角度以及位置相关的信息和与该短边侧分割预定线的角度以及位置相关的信息;偏移量计算部,其根据该退刀槽信息存储部和分割预定线信息存储部所存储的信息,对该长边侧分割预定线与该长边侧刀具退刀槽之间的偏移量和该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽之间的偏移量进行计算;判定部,其判定在按照该长边侧分割预定线与该长边侧刀具退刀槽重叠的方式使该卡盘工作台与被加工物相对地移动而对该卡盘工作台相对于该被加工物的角度、位置进行调整的情况下该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽是否重叠;以及报知部,其在由该判定部判定为该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽不重叠的情况下,将该情况报知给操作者,在由该判定部判定为该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽重叠的情况下,在利用该搬送单元将该被加工物从该卡盘工作台搬出之后,通过使该卡盘工作台旋转、使该卡盘工作台移动或者使对被加工物进行保持的搬送单元移动而对该卡盘工作台相对于该被加工物的角度、位置进行调整,以使得再次被搬入至该卡盘工作台的该被加工物的该长边侧分割预定线与该长边侧刀具退刀槽重叠、该短边侧分割预定线与该短边侧刀具退刀槽重叠。
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