[发明专利]基板成膜机台及使用方法在审
| 申请号： | 201810175922.4 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN108486543A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 朱正良 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518108 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种基板成膜机台及使用方法。该基板成膜机台，包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔；成膜腔室；中间腔室；第一泵组，第一泵组与第一基板承载进出腔相连；第二泵，第二泵与中间腔室相连；第三泵，第三泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连；至少一个备用泵，备用泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连，以在第三泵损坏的情况下，抽出成膜腔室以及第二基板承载进出腔内的空气；或者，备用泵与中间腔室相连，以在第二泵损坏的情况下，抽出中间腔室内的空气。本申请实施例提供的基板成膜机台，可以实现提高基板成膜机台的生产效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 基板成膜 承载 第二基板 成膜腔 中间腔室 备用泵 第一基板 抽出 生产效率 中间腔 腔内 申请 室内 | ||
【主权项】：
1.一种基板成膜机台，包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。
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