[发明专利]一种检测方法和装置有效
| 申请号： | 201810176066.4 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN108226237B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 徐海燕;王栋;赵文龙;唐欢;金贤镇;张蕾;王钊;孙乐 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/24 | 分类号： | G01N27/24 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 017020 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种检测方法和设备，所述检测设备包括：电容生成电路，包括相对设置的第一电容电极和第二电容电极，以及分别连接第一电容电极和第二电容电极的电源；第一电容电极靠近第二电容电极的一侧用于放置待测基板；其中，第一电容电极为电极板，第二电容电极包括n个绝缘设置的子电极，n为大于或等于1的整数；至少一个电容检测电路，连接电极板和子电极，用于在待测基板放置于电极板靠近第二电容电极的一侧后，检测电极板与子电极之间的电容值；控制器，用于根据电容值判断待测基板上与子电极对应的区域中是否存在异物。通过本发明实施例，利用电容感应原理快速、准确的检测异物，提高了检测效率，缩短了检测时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测设备，其特征在于，包括：电容生成电路，包括相对设置的第一电容电极和第二电容电极，以及分别连接所述第一电容电极和所述第二电容电极的电源；所述第一电容电极靠近所述第二电容电极的一侧用于放置待测基板；其中，所述第一电容电极为电极板，所述第二电容电极包括n个绝缘设置的子电极，n为大于或等于1的整数；至少一个电容检测电路，连接所述电极板和所述子电极，用于在所述待测基板放置于所述电极板靠近所述第二电容电极的一侧后，检测所述电极板与所处子电极之间的电容值；控制器，用于根据所述电容值判断所述待测基板上与所述子电极对应的区域中是否存在异物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司，未经鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810176066.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
