[发明专利]压电传感器有效
申请号: | 201810176129.6 | 申请日: | 2018-03-02 |
公开(公告)号: | CN108419189B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 陈振颐;张朝森;蒋铠宇;彭瑞钦 | 申请(专利权)人: | 美律电子(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R17/00 | 分类号: | H04R17/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 卢晓霞 |
地址: | 518100 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种压电传感器,包括基材、压电层及加强结构。基材具有腔室。压电层配置于基材上且包括位移区、多个感测区、多个缝隙、多个上电极及多个下电极。位移区位于腔室上方。多个感测区环绕连接于位移区的外缘且位于腔室上方。多个缝隙分别成形于多个感测区中任两相邻的感测区之间,各缝隙连通腔室。多个上电极分别配置于各感测区的顶面。多个下电极分别配置于各感测区的底面。加强结构配置于位移区的底部。 | ||
搜索关键词: | 压电 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种压电传感器,包括:基材,具有腔室;压电层,配置于所述基材上且包括:位移区,位于所述腔室上方;多个感测区,环绕连接于所述位移区的外缘且位于所述腔室上方;多个缝隙,分别成形于所述多个感测区中任两相邻的感测区之间,各所述缝隙连通所述腔室;多个上电极,分别配置于各所述感测区的顶面;以及多个下电极,分别配置于各所述感测区的底面;以及所述压电传感器还包括:加强结构,配置于所述位移区的底部,其中,当声波传递至所述压电层时,推动所述位移区与所述加强结构相对于所述基材产生位移,并使所述多个感测区产生变形以产生电信号,且所述多个缝隙可平衡所述腔室内的压力。
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