[发明专利]液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质有效
申请号: | 201810181769.6 | 申请日: | 2018-03-06 |
公开(公告)号: | CN108568382B | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 宫崎文宏;宫崎一仁;相良典秀;吉富济;尾上幸太朗 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中,使从液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。液滴排出装置(1)包括:载置工件(W)的工作台(40);向载置于工作台(40)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(24);使工作台(40)在主扫描方向Y轴方向上移动的Y轴直线电动机(13);检测托架标记(25)的位置的位置检测器(72);和控制部(150),其计算由位置检测器(7)检测的检测位置和托架标记(25)的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量,基于该位置偏离量,对液滴排出头(24)的液滴的排出时机进行修正。 | ||
搜索关键词: | 排出 装置 方法 程序 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】:
1.一种液滴排出装置,其向工件排出功能液的液滴来进行描绘,所述液滴排出装置的特征在于,包括:载置所述工件的工作台;向载置有所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头;使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向上相对地移动的工件移动机构;检测所述液滴排出头的位置的位置检测器;和控制部,其计算由所述位置检测器检测出的检测位置与所述液滴排出头的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量,基于该位置偏离量来修正所述液滴排出头的液滴的排出时机。
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