[发明专利]自带熔体搅拌功能的晶体生长装置在审
申请号: | 201810184308.4 | 申请日: | 2018-03-06 |
公开(公告)号: | CN108441937A | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 王庆国;罗平;徐军;吴锋;唐慧丽;刘军芳;赵衡煜;刘斌;薛艳艳;王东海 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 蒋亮珠 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种自带熔体搅拌功能的晶体生长装置,包括感应线圈(1)、保温层(2)、感应发热体(3)、原料(4)、坩埚(5)和坩埚支柱(6),所述的坩埚(5)内设有搅拌原料(4)的搅拌器(7)。与现有技术相比,本发明在传统坩埚与熔体相对静止的基础上增加了坩埚旋转功能,增加坩埚与国内熔体的相对运动,更加容易排除熔体中的气泡,同时使得原料中的掺杂元素分布更加均匀,有利于生长出高质量晶体。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 熔体 晶体生长装置 熔体搅拌 自带 感应发热体 掺杂元素 传统坩埚 感应线圈 相对静止 旋转功能 坩埚支柱 保温层 搅拌器 生长 | ||
【主权项】:
1.一种自带熔体搅拌功能的晶体生长装置,包括感应线圈(1)、保温层(2)、感应发热体(3)、原料(4)、坩埚(5)和坩埚支柱(6),其特征在于,所述的坩埚(5)内设有搅拌原料(4)的搅拌器(7)。
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