[发明专利]中心环及真空泵有效
| 申请号： | 201810184686.2 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108626142B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 清水幸一 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题是防止中心环的脱落。介于真空腔室与涡轮分子泵之间的中心环(60)包括：环主体(61)，包含嵌合于真空腔室的排气法兰的腔室侧圆筒部(65)、及嵌合于涡轮分子泵的吸气法兰的泵侧圆筒部(64)；防尘土侵入用的网(72)，设置在环主体(61)上；以及防脱落构造，防止在使涡轮分子泵的转子轴从铅垂方向向垂直方向倾斜的过程中中心环(60)从吸气法兰脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 中心 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种中心环，其是介于真空腔室与真空泵之间的中心环，其特征在于：包括：环主体，包括嵌合于所述真空腔室的腔室侧嵌合部的第一环嵌合部、及嵌合于所述真空泵的泵侧嵌合部的第二环嵌合部；防尘土侵入构件，设置在所述环主体上；以及防脱落构造，防止所述中心环从所述真空泵的泵侧嵌合部脱落。
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