[发明专利]一种将A-S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法有效
| 申请号： | 201810185560.7 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108548943B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 刘金超 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q30/02 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 刘杉;郭芸 |
| 地址： | 510450 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种将A‑S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，包括以下步骤：(1)先将放置有样品的A‑S通用样品台在SEM中观察，找到目标区域；(2)记录该区域的目标坐标；(3)将A‑S通用样品台转移到AFM样品台上，得到目标坐标在AFM样品台中的新坐标。本发明提供的将A‑S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，解决了A‑S通用样品台转移到AFM样品台后目标点坐标的重新定位，实现了SEM与AFM的联用，大大提高AFM的工作效率，极大的丰富科研人员对纳米材料的认知。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通用 样品 坐标 转换 afm 标的 方法 | ||
【主权项】：
1.一种将A‑S通用样品台的坐标转换为AFM样品台的坐标的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)先将放置有样品的A‑S通用样品台在SEM中观察，找到目标区域；(2)记录该区域在A‑S通用样品台上的目标坐标；(3)将A‑S通用样品台转移到AFM样品台上，得到目标坐标在AFM样品台中的新坐标。
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