[发明专利]掩膜板及掩膜板制备方法有效
| 申请号： | 201810186212.1 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108179379B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 欧凌涛;甘帅燕;卓林海 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种掩膜板及掩膜板制备方法，该掩模板的全蚀刻区包括多个开口单元，每一开口单元的周围均设置有半蚀刻区。本发明实施例提供的掩模板通过在开口单元的周围设置半蚀刻区的方式，使粘附到玻璃基板上的蒸镀残留颗粒在玻璃基板的传动过程中落入到掩膜板的半蚀刻区范围内，从而有效防止了蒸镀过程中残留的颗粒对掩模板或蒸镀产品造成损伤的情况的发生，并且有效提高了蒸镀良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，包括全蚀刻区和不蚀刻区，其特征在于，所述全蚀刻区包括多个开口单元，每一所述开口单元的周围均设置有半蚀刻区。
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