[发明专利]一种具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置

摘要

本发明涉及一种具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置，包括底座、控制器、动力机构、炉体、排气管和两个导气机构，导气机构包括储气罐、导气管、导气室和入气管，导气组件包括导气轴、驱动组件、第一锥齿轮、两个扇叶和两个套管，驱动组件包括驱动块、转盘、转轴、第二锥齿轮、调节框和调节单元，排气机构包括往复组件、第一电机、第一驱动轴和两个清洁组件，该具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置通过导气机构控制进入炉体内的反应气体的流量，使反应气体以合适的比例进入炉体内，提高反应效率，不仅如此，利用排气机构清除排气管内壁上堆积的杂质，使废气顺利从排气口流出，使石墨烯的制备更为安全可靠，提高了设备的实用性。

主权项

1.一种具有调节功能的石墨烯化学气相反应沉积装置，其特征在于，包括底座(1)、控制器(2)、动力机构、炉体(3)、排气管(4)和两个导气机构，所述控制器(2)和炉体(3)均固定在底座(1)上，所述控制器(2)内设有PLC，所述排气管(4)位于炉体(3)的一侧，所述导气机构和动力机构均位于炉体(3)的另一侧，所述动力机构位于两个导气机构之间，所述导气机构包括储气罐(5)、导气管(6)、导气室(7)和入气管(8)，所述储气罐(5)通过导气管(6)与导气室(7)连通，所述导气室(7)通过入气管(8)与炉体(3)连通，所述导气室(7)内设有导气组件，所述排气管(4)上设有排气口，所述排气管(4)内设有排气机构；所述导气组件包括导气轴(9)、驱动组件、第一锥齿轮(10)、两个扇叶(11)和两个套管(12)，两个套管(12)分别固定在导气室(7)的两侧的内壁上，所述导气轴(9)的两端分别位于两个套管(12)内，两个扇叶(11)分别位于导气轴(9)的两侧，所述第一锥齿轮(10)套设在导气轴(9)上，所述驱动组件与第一锥齿轮(10)传动连接；所述驱动组件包括驱动块(13)、转盘(14)、转轴(15)、第二锥齿轮(16)、调节框(17)和调节单元，所述转盘(14)抵靠在驱动块(13)上，所述驱动块(13)的形状为圆锥形，所述转盘(14)套设在转轴(15)上，所述第二锥齿轮(16)固定在转轴(15)上，所述第二锥齿轮(16)与第一锥齿轮(10)啮合，所述调节框(17)的形状为U形，所述调节框(17)的开口指向转盘(14)，所述调节单元与调节框(17)传动连接；所述排气机构包括往复组件、第一电机(18)、第一驱动轴(19)和两个清洁组件，所述往复组件与第一电机(18)传动连接，所述第一电机(18)与第一驱动轴(19)传动连接，所述第一电机(18)与PLC电连接，两个清洁组件分别位于第一驱动轴(19)的两侧；所述清洁组件包括清洁板(20)和若干弹簧(21)，所述清洁板(20)通过弹簧(21)与第一驱动轴(19)连接，所述清洁板(20)的靠近排气管(4)的内壁的一侧设有若干毛刷，所述弹簧(21)处于压缩状态。