[发明专利]一种冲孔针头表面多弧离子镀掺杂钛的类金刚石膜的方法有效
| 申请号： | 201810192711.1 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108330445B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 于翔;王彩萍;张月娟 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（北京） |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 蒋常雪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种冲孔针头表面多弧离子镀掺杂钛的类金刚石膜的方法，属于镀膜工艺技术领域，该方法采用多弧真空离子镀膜机在冲孔针头上镀含合金元素的类金刚石膜，首先对冲孔针头进行打磨，之后超声清洗，然后再放入多弧真空离子镀膜机中进行镀膜，申请人通过对镀膜工艺大量摸索，优化了镀膜的工艺条件，降低了DLC薄膜的内应力并提高其热稳定性，提高材质的高温强度，钢的软化程度减少，在高温镀膜后能在喷丝头冲孔中保持其本征硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冲孔 针头 表面 离子镀 掺杂 金刚石 方法 | ||
【主权项】：
1.一种冲孔针头表面多弧离子镀掺杂钛的类金刚石膜的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)采用水磨砂纸对冲孔针头基体试样表面进行逐级打磨，并用Al2O3粉抛光至镜面状态，直至基体表面无明显划痕；(2)将冲孔针头基体试样放入超声波清洗机中，依次在石油醚和无水乙醇中进行超声清洗，烘干后放入多弧真空离子镀膜机的真空室中待沉积；(3)开启多弧真空离子镀膜机，多弧真空离子镀膜机所选用的靶材为钛靶，抽真空，加热，冲入氩气，控制氩气的流量，维持气压的稳定，开启偏压轰击，进行辉光清洗，直到偏压表指针稳定；(4)进行弧光清洗，维持偏压，调整钛靶电流；(5)调整偏压，通入C2H2，在冲孔针头基体试样上镀含合金元素的类金刚石膜。
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