[发明专利]多晶黑硅PERC电池的抛光制绒工艺

摘要

本发明公开了一种多晶黑硅PERC电池的抛光制绒工艺，在链式设备中对多晶硅片进行先双面抛光再单面黑硅制绒。本发明能在制绒阶段制备出一面具有黑硅绒面、另一面具有抛光面的多晶硅片，使后续PERC结构的制备可直接在抛光面上进行，可省去制绒后的抛光步骤，省下制绒后的抛光设备和耗材，且增加产能。

主权项

1.多晶黑硅PERC电池的抛光制绒工艺，其特征在于，在链式设备中对多晶硅片进行先双面抛光再单面黑硅制绒；所述链式设备包括用于实施双面抛光的抛光槽，抛光槽内储有抛光液，多晶硅片以浸没方式通过抛光槽，完成双面抛光，在多晶硅片的顶面和底面分别形成抛光面；所述单面黑硅制绒为采用金属离子催化的湿法化学制绒，且通过控制多晶硅片单面附着金属离子来实施多晶硅片的单面黑硅制绒；所述链式设备包括用于实施多晶硅片单面附着金属离子的金属离子溶液储槽，金属离子溶液储槽内储有金属离子溶液，金属离子溶液储槽内还设有承载多晶硅片的滚轮，双面抛光的多晶硅片以滚轮带液方式通过金属离子溶液储槽，完成多晶硅片单面附着金属离子，即多晶硅片底面附着金属离子；底面附着金属离子的多晶硅片完成单面黑硅制绒后，多晶硅片的顶面仍为抛光面，多晶硅片的底面形成黑硅绒面。