[发明专利]透明导电层及显示面板的制造方法有效
| 申请号： | 201810201238.9 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108468026B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 苏家妮;林永龙;罗勖诚;林建亨 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种透明导电层的制造方法包括下列步骤：氧气分压与氩气分压的比值为A，于0.009≤A≤0.0150的条件下，借由等离子产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材，以于第一基板上形成透明导电层。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明导电层的制造方法，其特征在于，包括：氧气分压与氩气分压的比值为A，于0.009≤A≤0.0150的条件下，借由等离子所产生的离子轰击氧化铟锡溅镀靶材以于一第一基板上形成一透明导电层。
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