[发明专利]降温装置、密闭装置、真空机台以及真空腔室降温的方法在审
| 申请号： | 201810201628.6 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108447761A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张帆 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种降温装置、密闭装置、真空机台以及真空腔室降温的方法，能够实现密闭容器的快速降温，且结构简单，易于实现。所述降温装置包括设于密闭容器外围的密闭罩壳，所述密闭罩壳的至少一部分内壁与所述密闭容器的外壁间隔设置以形成密闭空间，且所述密闭空间与所述密闭罩壳上的进口以及出口相连通。所述密闭装置和所述真空机台包括密闭容器以及所述降温装置。所述真空腔室降温的方法包括：在提供真空腔室的密闭容器的外围构造一个密闭空间；将冷却气体通入所述密闭空间，以使所述冷却气体流过所述密闭容器而完成热交换后排出。 | ||
| 搜索关键词： | 密闭容器 降温装置 密闭空间 真空腔室 机台 密闭装置 密闭罩 冷却气体 热交换 外围 间隔设置 快速降温 内壁 外壁 后排 进口 出口 | ||
【主权项】：
1.一种降温装置，用于密闭容器的降温，其特征在于，包括设于所述密闭容器外围的密闭罩壳，所述密闭罩壳的至少一部分内壁与所述密闭容器的外壁间隔设置以形成密闭空间，且所述密闭空间与所述密闭罩壳上的进口以及出口相连通。
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