[发明专利]硬掩模用组合物在审
申请号: | 201810201666.1 | 申请日: | 2018-03-12 |
公开(公告)号: | CN108663905A | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 梁敦植;崔汉永 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;钟海胜 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: |
本发明提供一种硬掩模用组合物,其包含含有咔唑单元、联苯单元、和来源于甲醛或其合成等价物或者下述化学式3所表示的化合物中的至少一种的连接单元的缩聚物、及溶剂。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、溶解性和平坦性同时提高了的硬掩模。下述化学式3中,R2为碳原子数6~20的芳香族烃基,R3和R4各自独立地为氢、或碳原子数1~4的烷基。 |
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搜索关键词: | 硬掩模 碳原子数 烷基 芳香族烃基 合成等价物 连接单元 耐蚀刻性 咔唑单元 缩聚物 溶剂 联苯 甲醛 | ||
【主权项】:
1.一种硬掩模用组合物,其包含:含有咔唑单元、联苯单元、和来源于甲醛或其合成等价物或者下述化学式3所表示的化合物中的至少一种的连接单元的缩聚物;及溶剂,化学式3
化学式3中,R2为碳原子数6~20的芳香族烃基,R3和R4各自独立地为氢、或碳原子数1~4的烷基。
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