[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201810201666.1 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108663905A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有咔唑单元、联苯单元、和来源于甲醛或其合成等价物或者下述化学式3所表示的化合物中的至少一种的连接单元的缩聚物、及溶剂。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、溶解性和平坦性同时提高了的硬掩模。下述化学式3中，R2为碳原子数6～20的芳香族烃基，R3和R4各自独立地为氢、或碳原子数1～4的烷基。 |
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| 搜索关键词： | 硬掩模 碳原子数 烷基 芳香族烃基 合成等价物 连接单元 耐蚀刻性 咔唑单元 缩聚物 溶剂 联苯 甲醛 | ||
【主权项】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含：含有咔唑单元、联苯单元、和来源于甲醛或其合成等价物或者下述化学式3所表示的化合物中的至少一种的连接单元的缩聚物；及溶剂，化学式3![]()
化学式3中，R2为碳原子数6～20的芳香族烃基，R3和R4各自独立地为氢、或碳原子数1～4的烷基。
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