[发明专利]应用于光电子封装的平面运动平台在审
| 申请号： | 201810205696.X | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108470705A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 周海波;张威;段吉安;侯富龙;孔志平 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；第一解耦装置的顶部和第二解耦装置的顶部均与载物台的底部连接，第一解耦装置的底部与第一驱动装置的顶部连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置的顶部连接。本发明通过第一驱动装置驱动第一解耦装置以使第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动，第二驱动装置驱动第二解耦装置以使第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动，无需将一个方向的运动构件搭载于另一方向的运动构件上，从而避免增加另一方向对应直线电机的负载，使得另一方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。 | ||
| 搜索关键词： | 解耦装置 载物台 第二驱动装置 第一驱动装置 光电子封装 平面运动 运动构件 直线电机 驱动 底部连接 启停 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于光电子封装的平面运动平台，其特征在于，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；所述第一解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第一解耦装置的底部与所述第一驱动装置的顶部连接；所述第二解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第二解耦装置的底部与所述第二驱动装置的顶部连接；所述第一驱动装置用于驱动所述第一解耦装置以使所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动；所述第二驱动装置用于驱动所述第二解耦装置以使所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动；所述第一解耦装置还用于在所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动时避免所述第一驱动装置阻碍所述载物台运动；所述第二解耦装置还用于在所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动时避免所述第二驱动装置阻碍所述载物台运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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