[发明专利]一种薄膜电阻加热器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810207801.3 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108513378A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 张继华;张苗苗;陈宏伟;曲胜;李鑫;魏猛;王文君 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H05B3/20 | 分类号： | H05B3/20;H05B3/12;C23C28/04 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜电阻加热器及其制备方法，所述薄膜电阻加热器包括基底、电极层、加热层和绝缘层，所述加热层为溅射法或蒸发法得到的Ta、Ti、Al、钛的氮化物或钽的氮化物层，所述绝缘层为阳极氧化法形成的对应的氧化钽、氧化钛或氧化铝。本发明采用Ta、Ti、Al、钛的氮化物或钽的氮化物作为加热层，化学性能稳定，解决了传统薄膜电阻加热器不稳定的问题；采用阳极氧化的方法在加热层表面生成一层均匀、致密的绝缘层，可有效抵抗水分和大气的侵蚀，具有良好的稳定性，同时制备工艺简单，成本低，得到的加热层和绝缘层之间结合紧密，解决了两者之间的黏附性问题。 | ||
| 搜索关键词： | 加热层 绝缘层 薄膜电阻加热器 氮化物 制备 致密 阳极氧化法 氮化物层 化学性能 阳极氧化 制备工艺 电极层 溅射法 氧化铝 氧化钛 氧化钽 蒸发法 黏附性 基底 抵抗 侵蚀 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜电阻加热器，包括基底、电极层、加热层和绝缘层，其特征在于，所述加热层为溅射法或蒸发法得到的金属薄膜，所述绝缘层为阳极氧化法形成的与加热层金属对应的金属氧化物层。
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