[发明专利]一种消除衍射光学元件中心亮点的方法

摘要

本发明涉及一种消除衍射光学元件中心亮点的方法。包括以下步骤：(1)设定输出图形平面的光场分布与衍射光学元件表面的光场分布，并建立关系式；(2)将输出平面光场分布做平移变换；(3)通过计算得到衍射光学元件表面的微结构形貌；(4)在光路上设置光阑对亮点进行遮挡。本发明提供了一种可以将中心亮点完全移到需要的图案之外，并利用光阑对中心亮点予以遮挡从而消除衍射光学元件中心亮点的方法。

主权项

1.一种消除衍射光学元件中心亮点的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：(1)首先，设输出图形平面的光场分布为u(ξ，ζ)；衍射光学元件表面的光场分布为g(x，y)；输出图形平面光场和输入平面光场之间的关系式为：其中，k＝1/λ,λ代表波长；g表示衍射光学元件表面的光场分布；x表示衍射光学元件表面的横坐标；y表示衍射光学元件表面的竖坐标；ξ，ζ表示输出平面光场坐标；zd表示衍射光学元件和成像平面之间的距离；(2)将输出平面光场分布g做平移变换，使输出图形在输出平面上有一个(d1,d2)的平移，具体如下：ξ1＝ξ+d1将上述平移后的参数代入关系式，得到变换后的输出图形平面光场和输入平面光场之间的关系式：其中，i代表复数；设输出图形两个边的宽度分别为D1和D2,选取d1和d2的值,使d1>D1/2或d2>D2/2,则需要的图形会移出到中心亮点之外；(3)解上述经过平移变换后的方程，得到衍射光学元件表面微结构的几何形貌；(4)最后，在输出平面和输入平面之间的光学路径上设置光阑对零级光进行遮挡。