[发明专利]一种低电阻泡沫金属的制备方法有效
| 申请号： | 201810208886.7 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108300969B | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 闫焉服;王广欣;傅山泓;杨文玲;高志廷;吴丹凤 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 魏新培 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种微电子用泡沫金属的制备方法，以聚氨酯泡沫为骨架，在聚氨酯泡沫上采用磁控溅射工艺制备Ni‑Al‑Ni三层结构复合膜，其中，聚氨酯泡沫骨架上Ni‑Al‑Ni三层结构复合膜的厚度为20~30μm。本发明采用磁控溅射方式制备高纯度的金属膜，即Ni‑Al‑Ni三层结构复合膜，包括膜层、骨架与气孔三部分，提高了泡沫金属的柔韧性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻 泡沫 金属 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低电阻泡沫金属的制备方法，其特征在于：以聚氨酯泡沫为骨架，在聚氨酯泡沫上采用磁控溅射工艺制备Ni‑Al‑Ni三层结构复合膜，其中，聚氨酯泡沫骨架上Ni‑Al‑Ni复合膜的厚度为20~30μm。
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