[发明专利]基于结晶弛豫结构的固态发光器件

摘要

本发明公开了一种用于制造具有多个光源的固态发光器件的方法，所述方法包括以下步骤：提供具有生长表面的衬底；在所述生长表面上提供掩模层，所述掩模层具有多个开口，通过所述多个开口，暴露所述生长表面，其中，所述开口中的每一个的最大横向尺寸小于0.3μm，以及其中，所述掩模层可以包括第一掩模层部分和第二掩模层部分，所述第一掩模层部分和所述第二掩模层部分具有相同表面积并包括多个开口，其中，所述第一掩模层部分展示出所述生长表面的暴露面积与所述生长表面的未暴露面积之间的第一比率，以及其中，所述第二掩模层部分展示出所述生长表面的暴露面积与所述生长表面的未暴露面积之间的第二比率，所述第二比率与所述第一比率不同；在所述掩模层的开口的每一个中，在所述生长表面上生长基底结构；以及在所述基底结构中的每一个的表面上生长至少一个光生成量子阱层。

主权项

1.一种用于制造具有多个光源的固态发光器件的方法，所述方法包括以下步骤：提供具有生长表面（204）的衬底（201）；在所述生长表面上提供掩模层（205），所述掩模层具有多个开口（206），通过所述多个开口（206），暴露所述生长表面（204），其中，所述开口（206）中的每一个的最大横向尺寸小于0.3 μm，以及其中，所述掩模层（205）包括第一掩模层部分（302）和第二掩模层部分（303），所述第一掩模层部分（302）和所述第二掩模层部分（303）中的每一个包括暴露所述生长表面（204）的多个开口（206），其中，所述第一掩模层部分（302）展示出所述生长表面（204）的暴露面积与所述生长表面（204）的未暴露面积之间的第一比率，以及其中，所述第二掩模层部分（303）展示出所述生长表面（204）的暴露面积与所述生长表面（204）的未暴露面积之间的第二比率，所述第二比率大于所述第一比率；在所述掩模层（205）的所述开口（206）中的每一个中，在所述生长表面（204）上生长至少部分结晶弛豫的基底结构（207）；以及在所述基底结构（207）中的每一个的表面上生长至少一个光生成量子阱层（208），其中，所述至少一个光生成量子阱层（208）对应于所述第一掩模层部分（302）的部分的厚度大于所述至少一个光生成量子阱层（208）对应于所述第二掩模层部分（303）的部分的厚度，其中，所述多个开口具有基本上相同的尺寸，以及其中，相邻开口之间的距离在所述第二掩模层部分（303）中比在所述第一掩模层部分（302）中更小，以及其中，所述多个开口（206）中的每一个开口具有多边形形状，其中，所述开口的至少一个边与所述生长表面（204）的结晶取向基本上平行地对准。