[发明专利]一种PCVD沉积装置在审
| 申请号： | 201810209949.0 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108298810A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 胡肖;张欣;朱继红;汪洪海 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 430073 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PCVD沉积装置，包括长筒形加热炉和安设在加热炉炉腔的谐振腔，所述的谐振腔通过波导伸出加热炉与轴向往复装置及微波源相联，所述的长筒形加热炉包括有壳体，壳体内壁安设保温层，加热炉炉腔沿周向安设有加热元件，其特征在于在加热炉壳体和保温层之间敷设有吸波层，所述的吸波层由形状相同的凸块均匀布设构成。本发明可使泄漏至加热炉炉腔的微波在凸块之间多次反射折射而被吸收，达到降低加热炉内的驻波强度，从而提高沉积的轴向均匀性，改善光纤预制棒芯棒的参数。由于减少了炉内驻波对光纤参数的影响，相应减少了泄漏到车间内微波的强度，降低了对车间操作人员身体的伤害。本发明通过改善芯棒轴向均匀性，增加了合格芯棒的长度，降低了光纤制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 加热炉 加热炉炉腔 保温层 长筒形 吸波层 谐振腔 凸块 芯棒 驻波 微波 泄漏 光纤预制棒 加热炉壳体 轴向均匀性 多次反射 光纤参数 光纤制造 加热元件 壳体内壁 人员身体 车间 布设 均匀性 微波源 芯棒轴 波导 壳体 炉内 沉积 伸出 折射 伤害 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种PCVD沉积装置，包括长筒形加热炉和安设在加热炉炉腔的谐振腔，所述的谐振腔通过波导伸出加热炉与轴向往复装置及微波源相联，所述的长筒形加热炉包括有壳体，壳体内壁安设保温层，加热炉炉腔沿周向安设有加热元件，其特征在于在加热炉壳体和保温层之间敷设有吸波层，所述的吸波层由形状相同的凸块均匀布设构成。
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