[发明专利]双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置

摘要

本发明公开了一种双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，包括真空腔室，真空腔室为圆型卧式真空室，通过中间挡板横向阻隔为两个腔室，每个腔室分别设有一套催化剂供给系统；每套所述催化剂供给系统分别包括圆形托盘，每个圆形托盘的上方分别设有上加热器，两个圆形托盘的下方设有一个共用的下加热器；圆形托盘与旋转驱动电机连接，每个上加热器分别与垂直升降驱动电机连接，下加热器与垂直升降驱动电机和水平方向移动驱动电机分别连接。采用了冷壁双腔室的结构设计，配合设计的运动系统，将不同二维材料的化学气相沉积分隔在两个不同的腔室进行，免去转移的过程，避免了交叉污染。

主权项

1.一种双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，包括真空腔室，所述真空腔室为圆型卧式真空室，所述真空腔室通过中间挡板横向阻隔为两个腔室，每个腔室分别设有一套催化剂供给系统；每套所述催化剂供给系统分别包括圆形托盘，每个圆形托盘的上方分别设有上加热器，两个圆形托盘的下方设有一个共用的下加热器；所述圆形托盘与旋转驱动电机连接，每个所述上加热器分别与垂直升降驱动电机连接，所述下加热器与垂直升降驱动电机和水平方向移动驱动电机分别连接，所述驱动电机通过密封法兰固定在所述真空腔室的壁上。