[发明专利]管芯堆叠结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201810215432.2 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109755213A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈怡秀;邱文智;陈勇龙 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 提供一种管芯堆叠结构，所述管芯堆叠结构包括第一管芯、第二管芯、第一接合结构以及第二接合结构。所述第一接合结构设置在所述第一管芯的背面上。所述第二接合结构设置在所述第二管芯的正面上。所述第一管芯及所述第二管芯通过所述第一接合结构及所述第二接合结构接合在一起，且与所述第二接合结构进行接合的所述第一接合结构的表面的可接合拓扑变化小于1μm/1mm范围。还提供一种制作管芯堆叠结构的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 接合结构 管芯 堆叠结构 接合 第二管 拓扑变化 种管 制作 背面 | ||
【主权项】：
1.一种管芯堆叠结构，其特征在于，包括：第一管芯及第二管芯，通过第一接合结构及第二接合结构接合在一起，其中所述第一接合结构设置在所述第一管芯的背面上，所述第二接合结构设置在所述第二管芯的正面上，且与所述第二接合结构进行接合的所述第一接合结构的表面的可接合拓扑变化小于1μm/1mm范围。
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