[发明专利]检测元件和检测装置在审
申请号: | 201810217892.9 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108627413A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 服部将志;尾下顺二 | 申请(专利权)人: | 太阳诱电株式会社 |
主分类号: | G01N5/02 | 分类号: | G01N5/02;G01D21/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;季向冈 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种将因湿度变化导致的共振频率变化抑制在一定范围内的检测元件和使用该检测元件的检测装置。本发明的一个方式的检测元件包括晶体振荡器和形成在上述晶体振荡器上的吸附膜。上述吸附膜具有使所述检测元件的晶体阻抗成为没有形成所述吸附膜的上述晶体振荡器的晶体阻抗的10倍以下的厚度。 | ||
搜索关键词: | 晶体振荡器 吸附膜 检测 检测装置 晶体阻抗 共振频率变化 湿度变化 | ||
【主权项】:
1.一种检测元件,其特征在于,包括:晶体振荡器;和形成在所述晶体振荡器上的吸附膜,所述吸附膜具有使所述检测元件的晶体阻抗成为没有形成所述吸附膜的所述晶体振荡器的晶体阻抗的10倍以下的厚度。
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