[发明专利]一种用于激光剥蚀的载样装置有效

专利信息
申请号: 201810222698.X 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN108469465B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 袁洪林;陈开运;包志安 申请(专利权)人: 西北大学
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62;G01N1/44
代理公司: 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司 44375 代理人: 李玉平
地址: 710069 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种用于激光剥蚀的载样装置,包括靶座、基座、空气通道、气溶胶通道和样品腔,样品腔的顶部设有收缩口,且收缩口位于气溶胶通道的下表面;样品腔内设有弹簧,弹簧用于使样品靶被限位于样品腔、并被顶抵于收缩口处;样品腔的下部表面设有开口,开口通过空气通道连通空气出口;空气出口处设有截止阀,截止阀用于打开及关闭空气出口;气溶胶通道的一端连通载气入口,其另一端连通气溶胶出口,气溶胶通道顶部包括第一透光材料,以使激光通过第一透光材料透射气溶胶通道的顶部并剥蚀样品靶。本发明可装载多个样品靶,提高了连续使用过程中的稳定可靠性,提高了气溶胶传输效率的一致性,使不同样品之间的分析具有相同的质谱仪器分析条件。
搜索关键词: 一种 用于 激光 剥蚀 装置
【主权项】:
1.一种用于激光剥蚀的载样装置,包括样品腔、载气入口和出气口,其特征在于,还包括靶座和基座,所述出气口包括空气出口和气溶胶出口,所述靶座和所述基座密封连接并形成空气通道、气溶胶通道和所述样品腔,其中,所述样品腔的顶部设有收缩口,且所述收缩口位于所述气溶胶通道的下表面;所述样品腔内设有弹簧,所述弹簧用于使样品靶被限位于所述样品腔、并被顶抵于所述收缩口处;所述样品腔的下部表面设有开口,所述开口通过所述空气通道连通所述空气出口;所述空气出口处设有截止阀,所述截止阀用于打开及关闭所述空气出口;所述气溶胶通道的一端连通所述载气入口,其另一端连通所述气溶胶出口,所述气溶胶通道的顶部包括第一透光材料,以使激光通过所述第一透光材料透射所述气溶胶通道的顶部并剥蚀所述样品靶。
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