[发明专利]加工方法

摘要

提供加工方法，在对形成有膜的板状的被加工物进行分割的情况下，不使切削刀具产生堵塞并且不利用激光加工装置而能够对被加工物进行加工。该加工方法具有如下的步骤：槽形成步骤，从被加工物(W)的正面(W1a)沿着分割预定线(S)形成槽(M1)；保持步骤，在实施了槽形成步骤之后，对被加工物的正面侧进行保持而使被加工物的背面(W2b)侧的膜(W2)露出；高压水喷射步骤，在实施了保持步骤之后，对被加工物的背面侧喷射高压水(J)而沿着槽对膜进行分割，使至少一部分的槽在背面侧贯通；以及固态二氧化碳颗粒喷射步骤，对已喷射了高压水的被加工物的背面侧喷射固态二氧化碳颗粒(P1)而将与槽对应的膜去除。

主权项

1.一种加工方法，是设定有多条分割预定线并且在板状物的背面上形成有膜的被加工物的加工方法，其中，该加工方法具有如下的步骤：槽形成步骤，从被加工物的正面沿着该分割预定线形成槽；保持步骤，在实施了该槽形成步骤之后，对被加工物的正面侧进行保持而使被加工物的背面侧的该膜露出；高压水喷射步骤，在实施了该保持步骤之后，对被加工物的该背面侧喷射高压水而沿着该槽对该膜进行分割，使至少一部分的该槽在该背面侧贯通；以及固态二氧化碳颗粒喷射步骤，对已喷射了高压水的被加工物的该背面侧喷射固态二氧化碳颗粒而将与该槽对应的该膜去除。