[发明专利]掩模板、显示基板及其制作方法、显示装置有效
| 申请号： | 201810224433.3 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN108396285B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 岳晗;王灿;张粲;杨明;玄明花;陈小川;丛宁 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L27/32;H01L27/15 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模板、显示基板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域。其中，掩模板，包括：半导体材料制成的掩模板本体，所述掩模板本体包括有多个第一开口；位于所述掩模板本体上的磁性半导体材料层，所述磁性半导体材料层包括有多个第二开口，所述第二开口在所述掩模板本体上的正投影与所述第一开口重合。本发明的技术方案能够制作高分辨率的OLED显示基板。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩模板，其特征在于，包括：半导体材料制成的掩模板本体，所述掩模板本体包括有多个第一开口；位于所述掩模板本体上的磁性半导体材料层，所述磁性半导体材料层包括有多个第二开口，所述第二开口在所述掩模板本体上的正投影与所述第一开口重合。
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