[发明专利]蒸镀装置和蒸镀方法在审
| 申请号： | 201810225281.9 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN108441812A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 万冀豫;汪栋;宋勇志;陈南;张大成;张思凯 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/28;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀装置，用于对待蒸镀基板进行蒸镀，所述蒸镀装置包括：容纳有压缩气体的蒸镀腔室，用于承载待蒸镀基板和靶材；纵波产生结构，设置于所述蒸镀腔室内，用于发出沿第一方向传播的矩形纵波，以使所述蒸镀基板和所述靶材之间的所述压缩气体在矩形纵波的波峰处形成用于遮挡靶材分子的密部，在矩形纵波的波谷处形成用于提供靶材分子向所述待蒸镀基板移动的通道的疏部，其中，所述疏部对应于所述待蒸镀基板的待蒸镀区域，所述密部对应于所述待蒸镀基板的非蒸镀区域，所述第一方向与所述待蒸镀基板的待蒸镀面平行。本发明还涉及一种蒸镀方法。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀基板 蒸镀 靶材 纵波 蒸镀装置 压缩气体 疏部 蒸镀腔室 波谷处 蒸镀面 蒸镀腔 波峰 遮挡 平行 承载 容纳 室内 移动 传播 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，用于对待蒸镀基板进行蒸镀，其特征在于，所述蒸镀装置包括：容纳有压缩气体的蒸镀腔室，用于承载待蒸镀基板和靶材；纵波产生结构，设置于所述蒸镀腔室内，用于发出沿第一方向传播的矩形纵波，以使所述蒸镀基板和所述靶材之间的所述压缩气体在矩形纵波的波峰处形成用于遮挡靶材分子的密部，在矩形纵波的波谷处形成用于提供靶材分子向所述待蒸镀基板移动的通道的疏部；其中，所述疏部对应于所述待蒸镀基板的待蒸镀区域，所述密部对应于所述待蒸镀基板的非蒸镀区域，所述第一方向与所述待蒸镀基板的待蒸镀面平行。
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