[发明专利]OLED蒸镀装置及系统有效
| 申请号： | 201810226892.5 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108330438B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 焦浩 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种OLED蒸镀装置及系统，OLED蒸镀装置与控制装置电连接。OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备。腔体内设有两个或两个以上能够容纳蒸镀设备的腔室，各腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个蒸镀设备经过所有腔室后完成一次蒸镀过程。腔体内还包括移动机构。控制装置用于通过移动机构控制不同的蒸镀设备同时进入不同的腔室，并控制各蒸镀设备循环执行依次进入各腔室的动作。该OLED蒸镀装置及系统允许多个蒸镀设备同时运行，从而可以使得当前处于蒸镀状态的蒸镀设备内的有机材料耗尽后，即可自动继续更换下一个蒸镀设备进行蒸镀，从而提高了OLED大批量生产的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀设备 蒸镀装置 腔室 蒸镀 控制装置 体内 移动机构控制 循环执行 移动机构 有机材料 电连接 腔体 耗尽 容纳 生产 | ||
【主权项】：
1.一种OLED蒸镀装置，其特征在于，与控制装置电连接；所述OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备；所述腔体内设有两个或两个以上能够容纳所述蒸镀设备的腔室，各所述腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个所述蒸镀设备经过所有所述腔室后完成一次蒸镀过程；所有所述腔室中包括用于更换所述蒸镀设备内的有机材料的加料腔室；所述腔体内还包括移动机构；所述控制装置用于通过所述移动机构控制不同的所述蒸镀设备同时进入不同的所述腔室，并控制各所述蒸镀设备循环执行依次进入各所述腔室的动作。/n
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