[发明专利]用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法

摘要

本发明公开了用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法，包括使用PMMA旋涂在石墨烯表面形成保护层，加热固化PMMA，形成PMMA‑石墨烯‑铜箔；配置能腐蚀铜的腐蚀溶液，给腐蚀溶液加载电压形成电场；将PMMA‑石墨烯‑铜箔飘在腐蚀溶液液面上，形成PMMA‑石墨烯；铜箔腐蚀完成后，将PMMA‑石墨烯从溶液中捞起放入去离子水中清洗；水分控干之后加热基底，去除基底和石墨烯之间残留的水分并且加强石墨烯与基底的结合，使用良有机溶剂去除石墨烯表面的PMMA，获得石墨烯‑基底样品，用异丙醇清洗石墨烯‑基底样品样品表面并晾干。本发明能够避免铜箔溶解成小块儿导致石墨烯受损。

主权项

1.用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法，包括以下步骤：步骤1、使用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)旋涂在石墨烯表面形成保护层，加热固化PMMA，形成PMMA‑石墨烯‑铜箔；步骤2、配置能腐蚀铜的腐蚀溶液，在腐蚀溶液内形成稳定电场；步骤3、将PMMA‑石墨烯‑铜箔飘在腐蚀溶液液面上，铜箔与腐蚀溶液接触，等待腐蚀溶液溶解铜箔，形成PMMA‑石墨烯；步骤4、铜箔腐蚀完成后，利用玻璃片从溶液下方将PMMA‑石墨烯从溶液中捞起放入去离子水中清洗；步骤5、使用目标基底将石墨烯捞起垂直晾干，利用重力让石墨烯与基底之间的水分慢慢流失；步骤6、水分控干之后加热基底，去除基底和石墨烯之间残留的水分并且加强石墨烯与基底的结合。步骤7、使用有机溶剂去除石墨烯表面的PMMA，获得石墨烯‑基底样品，步骤8、用异丙醇清洗石墨烯‑基底样品样品表面并晾干。