[发明专利]一种微流量控制装置多层孔板多通道节流组件的制造方法有效
| 申请号： | 201810227475.2 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108526735B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 曾昭奇;张兵;苟浩亮;刘晖;魏延明;惠欢欢 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | G05D7/00 | 分类号： | G05D7/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 臧春喜 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流量控制装置多层孔板多通道气体节流组件的制造方法，包括如下步骤：采用光刻的方法对孔板进行刻蚀；对孔板进行微孔激光加工；将激光加工后的孔板和盖板进行扩散焊接形成多层孔板多通道气体节流组件。本发明通过刻蚀孔板、激光加工、扩散焊，发挥了多种特殊加工工艺的优势，解决了传统气体微流量控制组件易堵塞的问题，提高了气体微流量控制组件的精度，弥补了传统气体微流量控制组件精度低的缺陷；通过加压扩散焊接孔板和盖板，实现了多层孔板多通道气体微流量控制组件的可靠连接及密封，克服了传统气体微流量控制组件可靠性差的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流量 控制 装置 多层 孔板多 通道 节流 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微流量控制装置多层孔板多通道节流组件的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步：采用光刻的方法对孔板(1)双面进行刻蚀；第二步：对光刻后的孔板(1)进行阵列微孔激光加工；第三步：将激光加工后的孔板(1)和盖板(2)真空加压扩散焊接。
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