[发明专利]一种测试传感器响应速度的装置及其测试方法

摘要

本发明公开了一种测试传感器响应速度的装置及其测试方法。该装置包括至少一组测试腔体、进气机构和排气机构。所述测试腔体内设有参考传感器和样品架，所述样品架的位置和温度可调节，所述样品架上方设有进气机构，其通过供气罐依次与阀门2、阀门1和喷嘴连通，所述导气管方位调节机构位于阀门2和阀门1之间的导气管上，且位于测试腔体内。测试前先利用软件模拟装置确定部件位置以及各阀门开度；确定各重要连接所有测试信号；由进气孔道往测试腔体中通入背景气体，读取传感器件的测试值；调节待测传感器和喷嘴的相对位置，喷入测试目标气体，测试待测传感器的瞬态响应。本发明装置结构简单，方法新颖、高效且不受使用环境限制。

主权项

1.一种测试传感器响应速度的装置，其特征在于，包括至少一组进气机构、测试腔体、进气孔道和排气机构，所述进气孔道和排气机构分别位于测试腔体的两侧，所述测试腔体内设有参考传感器，底部设有样品架，所述样品架上设有温度调节器、位置调节器和待测传感器；所述样品架上方设有伸入测试腔体内部的进气机构，所述进气结构包括供气罐、导气管、阀门2、导气管方位调节机构、阀门1和喷嘴，所述供气罐通过导气管依次与阀门2、阀门1和喷嘴连通，所述导气管方位调节结构、阀门1和喷嘴均在测试腔体内，且导气管方位调节机构位于阀门2与阀门1之间的导气管上；所述导气管方位调节机构、温度调节器和位置调节器均由控制模块控制。