[发明专利]一种柔性力敏传感器及其制备方法、阵列器件和应用在审
| 申请号： | 201810229752.3 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108469319A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 邓维礼;杨维清;翟福琪;杨涛;赵凡漪;朱婷;蔡万源;李兆峰;熊达;田果 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;A61B5/00 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 刘哲源 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种柔性力敏传感器及其制备方法、阵列器件和应用，其主要涉及传感器制备技术领域。通过选用PDMS制作微结构化的薄膜，使得PDMS的低杨氏模量提高了结构弹性，增强了柔性力敏传感器的可穿戴性和灵敏度；利用表面仿生的随机多层微结构，大幅增加了力敏传感器的灵敏度，增强了其对微小应力的传感能力，从而有助于将压阻式柔性力敏传感器应用到医疗监测等健康领域，使其能够实时监测诸如脉搏、呼吸等多种人体信号；另外，上述柔性力敏传感器的制备方法不但具有良好的工艺性与较低的成本，适合大规模生产，而且通过该方法可获得具有不同形貌、不同层次、不同尺度、不同维数、不同功能的仿生表面。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性力敏传感器 制备 阵列器件 灵敏度 应用 形貌 传感器制备 力敏传感器 仿生表面 结构弹性 人体信号 实时监测 微结构化 杨氏模量 医疗监测 工艺性 可穿戴 微结构 压阻式 传感 多层 维数 薄膜 尺度 脉搏 呼吸 制作 健康 | ||
【主权项】：
1.一种柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：将PDMS基底与固化剂按5:1的重量比混合，得到PDMS预聚物；对所述PDMS预聚物进行一次搅拌后，加入炭黑并进行二次搅拌，得到炭黑/PDMS油墨初产物；所述二次搅拌结束后，在真空条件下除去所述炭黑/PDMS油墨初产物的气泡，得到炭黑/PDMS油墨；将所述炭黑/PDMS油墨旋涂于表面具有微结构的毛玻璃片模具上，并进行固化处理，进而再将固化后的炭黑/PDMS油墨从所述毛玻璃片模具上剥离出来，得到表面微图案化的炭黑/PDMS薄膜；在所述炭黑/PDMS薄膜无所述微图案的一侧表面上设置金属电极，得到传感器柔性薄膜电极；将所述传感器柔性薄膜电极进行切割后，将切割得到的两片传感器柔性薄膜电极片叠放，进而引出导线并进行封装；其中，两片所述传感器柔性薄膜电极片具有所述微图案的表面相对地贴合在一起。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西南交通大学，未经西南交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810229752.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：压力传感器及其制造方法
- 下一篇：一种集成启闭力检测功能的水工钢闸门
