[发明专利]一种氧化锡纳米颗粒和氧化锌纳米线团聚结构的甲醇气敏传感器制备方法有效

专利信息
申请号: 201810233857.6 申请日: 2018-03-21
公开(公告)号: CN108535334B 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 慈立杰;彭瑞芹;孙卿;陈靖桦;李德平;陈龙 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 王志坤
地址: 250061 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种氧化锡纳米颗粒和氧化锌纳米线团聚结构的甲醇气敏传感器制备方法,属于气体传感器的气敏材料的制备领域,本发明通过简单的化学合成的方式完成ZnO和SnO2复合结构的制备,后通过可控的退火工艺获得最后产物。该复合结构充分发挥传统金属氧化物气敏材料的优势,利用ZnO/SnO2异质结调控气敏性能,降低工作温度。该技术可靠性高,可重复,具有优异的器件稳定性。获得气敏材料后利用高精度丝网印刷机涂刷在陶瓷基底上,然后在敏感层表面蒸镀金属电极;最后实现基于该异质结结构的敏感层与金属电极的接触,完成甲醇传感器的制备。本发明制备的甲醇传感器能够在200℃温度下实现高灵敏探测和快速响应的同时,还具有良好的稳定性。
搜索关键词: 一种 氧化 纳米 颗粒 氧化锌 线团 聚结 甲醇 传感器 制备 方法
【主权项】:
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