[发明专利]一种用于生产新材料的智能型基片预处理装置

摘要

本发明涉及一种用于生产新材料的智能型基片预处理装置，包括清洗盒、隔离盒、隔离机构、信号盒和推动机构，隔离机构包括隔离板、连接杆和升降组件，升降组件包括第一电机、第一连杆、第二连杆、升降环和固定杆，信号机构包括第二电机、转盘、驱动组件和两个信号组件，信号组件包括滑板、支杆、超声波发射器和两个滑动单元，该用于生产新材料的智能型基片预处理装置通过信号机构使超声波发射器产生的超声波信号作用于清洗盒内的各个位置，实现对基片表面的彻底清洗，不仅如此，通过隔离机构带动隔离板升降，在进行排水时，将杂质排出，使人们去除洁净的基片，进而保证在进行CVD反应时，新材料均匀附着在基片的表面，从而提高了设备的实用性。

主权项

1.一种用于生产新材料的智能型基片预处理装置，其特征在于，包括清洗盒(1)、隔离盒(2)、隔离机构、控制器(3)、信号盒(4)、排水管(5)和推动机构，所述清洗盒(1)固定在信号盒(4)的上方，所述信号盒(4)内设有信号机构，所述隔离盒(2)固定在清洗盒(1)的一侧，所述排水管(5)和推动机构均位于清洗盒(1)的另一侧，所述排水管(5)位于推动机构的下方，所述排水管(5)和隔离盒(2)均与清洗盒(1)连通，所述排水管(5)上设有阀门，所述控制器(3)和隔离机构均设置在隔离盒(2)的上方，所述控制器(3)内设有PLC；所述隔离机构包括隔离板(6)、连接杆(7)和升降组件，所述升降组件与连接杆(7)的一端传动连接，所述连接杆(7)的另一端与隔离板(6)的顶端固定连接，所述升降组件包括第一电机(8)、第一连杆(9)、第二连杆(10)、升降环(11)和固定杆(12)，所述第一电机(8)固定在隔离盒(2)的上方，所述第一电机(8)与PLC电连接，所述第一电机(8)与第一连杆(9)传动连接，所述第一连杆(9)通过第二连杆(10)与升降环(11)铰接，所述升降环(11)与连接杆(7)固定连接，所述升降环(11)套设在固定杆(12)上，所述固定杆(12)的底端固定在第一电机(8)上；所述信号机构包括第二电机(13)、转盘(14)、驱动组件和两个信号组件，所述第二电机(13)固定在信号盒(4)内的底部，所述第二电机(13)与PLC电连接，所述第二电机(13)与转盘(14)传动连接，两个信号组件分别位于驱动组件的两侧，所述信号组件和驱动组件均位于转盘(14)的上方；所述信号组件包括滑板(15)、支杆(16)、超声波发射器(17)和两个滑动单元，两个滑动单元分别位于滑板(15)的两侧，所述支杆(16)的一端与滑板(15)铰接，所述支杆(16)的另一端与驱动组件连接，所述超声波发射器(17)固定在滑板(15)的上方，所述超声波发射器(17)与PLC电连接。