[发明专利]蒸镀掩模用基材及其制造方法、蒸镀掩模及显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 201810238626.4 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108950473A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 新纳干大 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 牛玉婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够提高通过蒸镀形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。金属板的长度方向DL上的各位置处的沿着金属板的宽度方向的形状相互不同；各形状具有在金属板的宽度方向DW上反复的波；从波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；波的高度相对于波的长度的百分率是单位陡峭度；长度方向DL上的金属板的单位长度是500mm；单位长度的金属板中的单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；第1陡峭度是0.5％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 金属板 陡峭度 基材 制造 显示装置 位置处 蒸镀 连结 图案 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模用基材，是具有带状的金属板，用于通过蚀刻而形成多个孔来制造蒸镀掩模，其中，上述金属板具有长度方向和宽度方向，上述金属板的上述长度方向上的各位置处的沿着上述宽度方向的形状相互不同，各形状具有在上述宽度方向上反复的波，各波在其两侧分别具有谷；从上述波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；上述波的高度相对于上述波的长度的百分率是单位陡峭度；上述长度方向上的上述金属板的单位长度是500mm；上述单位长度的金属板中的上述单位陡峭度的最大值是第1陡峭度；上述第1陡峭度是0.5％以下。
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