[发明专利]带电粒子束装置以及试样加工方法有效
| 申请号： | 201810239287.1 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108666196B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 酉川翔太;大西毅 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供带电粒子束装置以及试样加工方法，其能够对减小了试样的厚度的整个微小试样片均匀地照射带电粒子束并且能够明确地掌握加工时的加工终点。该带电粒子束装置朝向试样照射带电粒子束，制成微小试样片，其特征在于，该带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其能够朝向所述试样照射带电粒子束；试样室，其收纳所述带电粒子束镜筒；以及试样片支架，其能够保持所述试样，在通过所述带电粒子束形成减小了所述试样的一部分区域的厚度的微小试样片时，与该微小试样片的减薄部分相邻的部分形成相对于所述减薄部分倾斜的倾斜部。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 试样 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其朝向试样照射带电粒子束，制成微小试样片，其特征在于，其具有：带电粒子束镜筒，其能够朝向所述试样照射带电粒子束；试样室，其收纳所述带电粒子束镜筒；以及试样片支架，其能够保持所述试样，在通过所述带电粒子束形成减小了所述试样的一部分区域的厚度的微小试样片时，与该微小试样片的减薄部分相邻的部分形成相对于所述减薄部分倾斜的倾斜部。
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