[发明专利]一种真空度检测系统及方法有效
| 申请号： | 201810242335.2 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108896241B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 唐静;涂彬彬 | 申请（专利权）人： | 东莞市鼎力自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00;G05D16/20 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 韩绍君 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空度检测系统，包括：真空室，用于对真空室抽真空的真空发生器，用于读取真空室内真空度的负压压力表，用于控制真空室放气的第一电磁阀，待检测真空度的真空传感器及控制器；真空发生器、负压压力表、真空传感器及第一电磁阀均与真空室连接，负压压力表及真空传感器还与控制器连接。基于该真空度检测系统，本发明还公开了一种真空度检测方法。该真空度检测系统及方法，可以实现真空传感器的自动检测，提高了检测效率，缩短了检测时间，检测时间由原来的18s降低至8s；且反馈信号由控制器进行判定，避免人工判定，消除误判。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空度检测系统，其特征在于，包括：真空室；用于对所述真空室抽真空的真空发生器；用于读取所述真空室内真空度的负压压力表；用于控制所述真空室放气的第一电磁阀；待检测真空度的真空传感器；及控制器；所述真空发生器、所述负压压力表、所述真空传感器及所述第一电磁阀均与所述真空室连接，所述负压压力表及所述真空传感器还与所述控制器连接。
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