[发明专利]无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种无机溶胶‑凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其步骤如下：(1)前驱体的制备；(2)基片的清洗；(3)提拉法镀膜；(4)退火处理：将镀完膜的石英玻璃片放入管式炉中，先将管式炉内抽真空，随后升温退火处理得到二氧化钒热致变色薄膜。本发明提供的方法所需要的成本低，前驱体原料易得，制备过程简单易行，工艺重复性好，易于实现大规模生产。

主权项

1.无机溶胶‑凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：前驱体的制备、基片的清洗、提拉法镀膜和退火处理；(1)前驱体的制备：将称量的V2O5粉末置于马弗炉中升温至800‑850℃，保温10‑30min，待粉末完全熔融后迅速取出，倒入去离子水中，放在磁力搅拌器上进行搅拌，然后静置陈化；(2)基片的清洗：将基片先后放于丙酮、无水乙醇中超声清洗15‑30min，然后再放入稀盐酸溶液中超声清洗0.5‑1h，取出后用去离子水冲洗干净，并用氮气吹干备用；(3)提拉法镀膜；(4)退火处理：将镀完膜的石英玻璃片放入管式炉中，先放入一定量的铜网，再将管式炉内抽真空，随后升温退火处理得到纯相的二氧化钒热致变色薄膜。