[发明专利]微电子机械系统装置及调整其可动部件的形状的方法有效
| 申请号： | 201810243295.3 | 申请日： | 2014-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN108439325B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 达娜·德勒斯;肖恩·J·坎宁安;阿瑟·S·莫里斯 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（新加坡）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;H01G5/14 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 郑姣 |
| 地址： | 新加坡淡滨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了微电子机械系统装置及调整其可动部件的形状的方法，该微电子机械系统装置，其包括：多个致动电极，其附着至第一表面，其中，所述一个或多个致动电极中的每个独立可控；以及可动部件，其与所述第一表面隔开并且相对于所述第一表面可移动，其中，所述可动部件进一步包括与所述多个固定的致动电极隔开的一个或多个可动致动电极。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 装置 调整 部件 形状 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于调整微电子机械系统装置的可动部件的形状的方法，包括：通过致动附着至第一表面的多个固定的致动电极，向所述第一表面挠曲可动部件，其中，每个所述固定的致动电极独立可控以在各个所述固定的致动电极与所述可动部件之间生成吸引力；选择性地退动所述多个固定的致动电极的第一子集，以终止所述多个固定的致动电极的第一子集与所述可动部件之间的吸引力；退动所述多个固定的致动电极中剩余的致动电极，以使得所述可动部件远离所述第一表面而挠曲。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声科技（新加坡）有限公司，未经瑞声科技（新加坡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810243295.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：原子腔的制备方法
- 下一篇：一种硅基结构的微热板及其制备方法
