[发明专利]用于多腔传输装置的开盖机构有效
| 申请号： | 201810245055.7 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN110299301B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李冰;常青;赵梦欣;边国栋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于多腔传输装置的开盖机构，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，每组传动组件对应连接有一组开盖执行组件；切换组件用于将驱动组件选择性地与其中一组传动组件相连；驱动组件用于驱动传动组件以带动开盖执行组件摆动。开盖机构可以节约多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，大幅地提升开盖机构的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传输 装置 机构 | ||
【主权项】：
1.一种用于多腔传输装置的开盖机构，其特征在于，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，其中，每组所述传动组件对应连接有一组所述开盖执行组件；所述切换组件用于将所述驱动组件选择性地与其中一组所述传动组件相连；所述驱动组件用于驱动所述传动组件以带动所述开盖执行组件摆动。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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