[发明专利]垂直面腔表面发射激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810251636.1 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108777433A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 朱明星;周少将;王伟明;李华 | 申请（专利权）人： | 江苏宜兴德融科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 214213 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种垂直面腔表面发射激光器及其制备方法。所述垂直面腔表面发射激光器包括：按顺序层叠设置的第一反射镜层、有源层和第二反射镜层，所述第二反射镜层位于出光侧，所述第一反射镜层位于非出光侧，其特征在于：所述第一反射镜层包括位于非出光侧的金属反射镜层和介于金属反射镜层与有源区之间的第一布拉格反射镜层；以及所述第二反射镜层包括第二布拉格反射镜层。本公开的垂直面腔表面发射激光器及其制备方法，可以提高垂直面腔表面发射激光器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜层 表面发射激光器 垂直面 制备 布拉格反射镜层 金属反射镜层 层叠设置 源层 源区 | ||
【主权项】：
1.一种垂直面腔表面发射激光器，包括：按顺序层叠设置的第一反射镜层、有源层和第二反射镜层，所述第二反射镜层位于出光侧，所述第一反射镜层位于非出光侧，其特征在于：所述第一反射镜层包括位于非出光侧的金属反射镜层和介于金属反射镜层与有源层之间第一布拉格反射镜层；以及所述第二反射镜层包括第二布拉格反射镜层。
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