[发明专利]板状被加工物的加工方法

摘要

提供板状被加工物的加工方法，对在分割预定线上或与分割预定线对应的区域层叠有金属的板状被加工物进行加工，与以往相比能够提高加工速度。加工方法对在分割预定线上或与分割预定线对应的区域层叠有金属的板状被加工物进行加工，具备：保持步骤，用卡盘工作台对板状被加工物的层叠有金属的一侧进行保持；第一切削步骤，在实施保持步骤后，用第一切削刀具沿分割预定线对板状被加工物进行切削，形成未到达该金属的切削槽；第二切削步骤，在实施第一切削步骤后，用第二切削刀具对切削槽进行切削，沿分割预定线在厚度方向上将板状被加工物与金属一起完全切断，在第二切削步骤中，一边对板状被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。

主权项

1.一种板状被加工物的加工方法，该加工方法对在分割预定线上或与分割预定线对应的区域层叠有金属的板状被加工物进行加工，其特征在于，该加工方法具备下述步骤：保持步骤，利用卡盘工作台对板状被加工物的层叠有该金属的一侧进行保持；第一切削步骤，在实施该保持步骤后，利用第一切削刀具沿着该分割预定线对板状被加工物进行切削，形成未到达该金属的切削槽；和第二切削步骤，在实施该第一切削步骤后，利用第二切削刀具对该切削槽进行切削，沿着该分割预定线在厚度方向上将板状被加工物与该金属一起完全切断，在该第二切削步骤中，一边对该板状被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。