[发明专利]基于负泊松比磁致伸缩衬底的磁电声表面波器件有效
| 申请号： | 201810264358.3 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108470825B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 白飞明;姜建利;彭超逸;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/20 | 分类号： | H01L41/20;H01L41/316;H01L41/09 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于负泊松比磁致伸缩衬底的磁电声表面波器件，属于电子信息功能材料与器件技术领域。所述磁电声表面波器件包括磁致伸缩衬底、压电薄膜和叉指换能器，磁致伸缩衬底为具有负泊松比和拉胀效应的磁致伸缩材料，其厚度大于2倍声表面波波长。本发明提供的磁电声表面波器件中，采用具有负泊松比和拉胀效应的磁致伸缩块材作为磁致伸缩衬底，衬底厚度可达到毫米级别，有效改善了对压电薄膜厚度的限制；本发明提供的磁电声表面波器件在获得优良取向的压电薄膜的同时，可显著提高器件的工作中心频率f0，使得后端频率计数器能更加准确地测试中心频率随磁场的变化，有利于提高磁场探测的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 磁致伸缩 衬底 表面波器件 泊松比 压电薄膜 磁致伸缩材料 工作中心频率 器件技术领域 声表面波波长 叉指换能器 频率计数器 测试中心 磁场探测 电子信息 功能材料 毫米级别 灵敏度 块材 取向 磁场 | ||
【主权项】：
1.一种基于负泊松比磁致伸缩衬底的磁电声表面波器件，包括磁致伸缩衬底、压电薄膜和叉指换能器，其特征在于，所述磁致伸缩衬底为具有负泊松比和拉胀效应的Fe1‑xGax、Fe1‑yAly或Ni1‑zAlz磁致伸缩合金块材，其厚度大于2倍声表面波波长，其中，x＝0.12～0.33，y＝0.12～0.4，z＝0.041～0.125。
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