[发明专利]一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置

摘要

本发明提供一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置，包括：仪器本体，仪器本体设有半导体电阻率测试单元；半导体电阻率测试单元包括：信号发生器，第一低通滤波电路，第二低通滤波电路，第三低通滤波电路，恒流源电路，第一乘法电路，第二乘法电路，第一探头，第二探头，AD转换模块，单片机；半导体电阻率测试仪为提高精度测试仪恒流源电路对测试信号进行了运放，而且将测试信号和信号发生器发送至乘法电路的信号进行补偿算法，对测试信号进行调制，降噪，滤波等形式，进行处理，修正。半导体电阻率测试仪对采集的半导体电阻率采集信号进行平衡调节，可以使乘法器实现抑制载波的振幅调制或有载波的振幅调制，提升测试结果的精度。

主权项

1.一种半导体电阻率测试仪，其特征在于，包括：仪器本体(20)，仪器本体(20)设有半导体电阻率测试单元；半导体电阻率测试单元包括：信号发生器(1)，第一低通滤波电路(2)，第二低通滤波电路(3)，第三低通滤波电路(4)，恒流源电路(5)，第一乘法电路(6)，第二乘法电路(7)，第一探头(8)，第二探头(9)，AD转换模块(10)，单片机(11)，I/O接口(13)，用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电池以及用于将供电电池输出的电压，进行稳压和变压后传输至各个用电元件的充供电电路；仪器本体上设有显示模块(12)，电源接入端(24)，探针接入端(25)，参数调节按键(23)，电源开关按键(21)以及测试控制按键(22)；第一探头(8)，第二探头(9)分别与探针接入端(25)插接；电源接入端(24)连接外电源，电源接入端(24)通过充供电电路连接半导体电阻率测试单元，使外电源给半导体电阻率测试单元供电，还通过充供电电路给供电电池充电；参数调节按键(23)，电源开关按键(21)以及测试控制按键(22)分别通过I/O接口(13)与单片机(11)连接；单片机(11)分别与信号发生器(1)输入端，显示模块(12)输入端以及AD转换模块(10)输出端连接；信号发生器(1)的输出端分别与第一低通滤波电路(2)输入端，第二低通滤波电路(3)输入端和第三低通滤波电路(4)输入端连接；第一低通滤波电路(2)输出端与第一乘法电路(6)第一输入端连接；第二低通滤波电路(3)输出端与恒流源电路(5)输入端连接；恒流源电路(5)输出端分别与第一探头(8)和第二探头(9)连接，第一探头(8)还与第一乘法电路(6)第二输入端连接，第一探头(8)将检测数据传输至第一乘法电路(6)；第二探头(9)还与第二乘法电路(7)第二输入端连接，第二探头(9)将检测数据传输至第二乘法电路(7)；第三低通滤波电路(4)输出端与第二乘法电路(7)第一输入端连接；第一乘法电路(6)输出端和第二乘法电路(7)输出端分别与AD转换模块(10)的输入端连接；信号发生器(1)包括：方波发生电路和正弦波发生电路。