[发明专利]一种电子束设备的自动聚焦装置及方法在审
| 申请号： | 201810267406.4 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108526675A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 河北众航高能科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 吕学文;武媛 |
| 地址： | 065300 河北省廊坊*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束设备的自动聚焦装置，所述装置包括：发射单元，所述发射单元用于在第一高度，向能量测试仪的小孔发射第一电子束，所述能量测试仪生成第一能量曲线；其中，所述第一电子束的方向和所述小孔的中心处于同一中心线上；获取单元，所述获取单元用于根据所述第一能量曲线，获取所述第一能量的峰量值对应的电流值，作为第一最佳聚焦值，由此，避免电子束散射以及折射导致的测量不准确的问题，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 自动聚焦装置 电子束设备 发射单元 获取单元 能量曲线 小孔 测量 能量测试仪 同一中心线 能量测试 散射 聚焦 折射 发射 | ||
【主权项】：
1.一种电子束设备的自动聚焦装置，其特征在于，所述装置包括：发射单元，所述发射单元用于在第一高度，向能量测试仪的小孔发射第一电子束，所述能量测试仪生成第一能量曲线；其中，所述第一电子束的方向和所述小孔的中心处于同一中心线上；获取单元，所述获取单元用于根据所述第一能量曲线，获取所述第一能量的峰量值对应的电流值，作为第一最佳聚焦值。
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